ITO（氧化銦錫，Indium Tin Oxide）靶材廣泛應(yīng)用于液晶顯示器、觸摸屏、太陽能電池等行業(yè)。隨著ITO靶材的廣泛使用，其回收再利用成為降低成本、減少資源浪費(fèi)、保護(hù)環(huán)境的重要環(huán)節(jié)。
ITO靶材主流回收技術(shù)
機(jī)械物理分離：適合較厚靶層，回收效率高。
濕法化學(xué)回收：利用酸堿進(jìn)行溶解分離，適合大批量廢靶材。
熱處理工藝：部分回收方案采用高溫分離，能耗較大。
銦在半導(dǎo)體、液晶顯示器等電子器件的生產(chǎn)中發(fā)揮著重要作用。銦靶材通常用于物相沉積（PVD）工藝中，制造薄膜。然而，銦靶材的成本高昂，且供應(yīng)有限，因此從廢棄或用過的靶材中回收銦變得至關(guān)重要。
此外，銦在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域也占有重要地位，消費(fèi)量占全球的12%。同時(shí)，焊料和合金領(lǐng)域?qū)︺煹男枨罅恳膊蝗菪∮U，占比同樣達(dá)到12%。另外，由于其質(zhì)地柔軟，銦還被用于某些需填充金屬的行業(yè)，如高溫下的真空縫隙填充。研究行業(yè)也占據(jù)了6%的消費(fèi)量，展現(xiàn)了銦在科研領(lǐng)域的潛力?？偟膩碚f，銦元素以其多樣的用途和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域，在工業(yè)生產(chǎn)中展現(xiàn)出了不可替代的價(jià)值。
