ITO靶材的核心用途是在磁控濺射工藝中作為“濺射源”。磁控濺射是一種常見的薄膜沉積技術(shù),通過高能離子轟擊靶材表面,使靶材原子被“敲擊”出來,終沉積在基板上,形成一層均勻的ITO薄膜。這層薄膜厚度通常在幾十到幾百納米之間,卻能同時實現(xiàn)導(dǎo)電和透光的功能。
閉環(huán)之困:損耗與機(jī)遇并存
ITO靶材在濺射鍍膜過程中利用率通常僅30%左右,大量含銦廢料(廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料)隨之產(chǎn)生。過去,這些價值的廢料往往被簡單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環(huán)體系,成為破解資源約束的黃金路徑。
銦回收的難點在于其“稀”與“散”。一部廢舊手機(jī)含銦量不足0.02克,且深嵌于多層結(jié)構(gòu)的液晶面板中,與玻璃、塑料、其他金屬緊密復(fù)合。傳統(tǒng)的物理拆解難以分離,濕法冶金(酸/堿浸出)則面臨成分復(fù)雜、雜質(zhì)干擾、易產(chǎn)生二次污染等嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。
技術(shù)破局:從粗放走向精純
現(xiàn)代銦回收工藝已形成精細(xì)鏈條:
預(yù)處理與富集:機(jī)械破碎液晶屏 → 高溫焚燒去除有機(jī)物 → 酸溶浸出(常用硫酸/鹽酸),將銦等金屬轉(zhuǎn)入溶液。
深度分離提純(核心技術(shù)):
溶劑萃取法:利用特定有機(jī)溶劑(如P204)選擇性“捕獲”溶液中的銦離子,實現(xiàn)與鐵、鋅、錫等雜質(zhì)的深度分離,富集倍數(shù)可達(dá)千倍。
離子交換法:功能樹脂吸附銦離子,適用于低濃度溶液提純。
電解沉積:對富銦溶液通電,在陰極析出粗銦。
高純精煉:對粗銦進(jìn)行真空蒸餾、區(qū)域熔煉等,去除微量雜質(zhì)(如鎘、鉛),產(chǎn)出純度高達(dá)99.99%(4N)以上的精銦,滿足高端ITO靶材要求。
綠色升級:循環(huán)經(jīng)濟(jì)的必由之路
相比開采原生礦(主要來自鋅冶煉副產(chǎn)品),從電子垃圾中回收銦具有顯著優(yōu)勢:
資源保障:1噸廢棄液晶面板可提取200-300克銦,品位遠(yuǎn)超原礦。
節(jié)能減排:回收能耗僅為原生銦生產(chǎn)的1/3,大幅降低碳排放。
環(huán)境友好:減少電子垃圾填埋污染,避免采礦生態(tài)破壞。
經(jīng)濟(jì)可行:銦價高企(曾超1000美元/公斤)賦予回收強(qiáng)勁動力。