從物理性質(zhì)上看,ITO靶材具有以下幾個顯著特點:
高透明度:在可見光范圍內(nèi)(波長400-700納米),ITO薄膜的透光率可高達90%以上,幾乎與普通玻璃相當(dāng)。
優(yōu)異導(dǎo)電性:其電阻率通常在10??歐姆·厘米的量級,遠低于大多數(shù)透明材料。
化學(xué)穩(wěn)定性:在常溫下,ITO對水、氧氣等環(huán)境因素表現(xiàn)出良好的抗腐蝕能力。
機械耐久性:ITO薄膜具備一定的硬度和耐磨性,能夠應(yīng)對日常使用中的輕微刮擦。
這些特性讓ITO靶材在實際應(yīng)用中游刃有余,尤其是在需要兼顧光學(xué)和電學(xué)性能的場景中。
制備完成后,ITO靶材在實際應(yīng)用中還會遇到一些問題:
濺射不均勻:如果靶材內(nèi)部存在微小缺陷或成分偏差,濺射過程中可能出現(xiàn)局部過熱,導(dǎo)致薄膜厚度不一致。
靶材破裂:在高功率濺射時,靶材承受的熱應(yīng)力可能超出其極限,造成破裂,進而影響生產(chǎn)線的連續(xù)性。
資源限制:ITO靶材依賴銦這種稀有金屬,而銦的全球儲量有限,價格波動較大。這不僅推高了成本,也促使業(yè)界尋找替代方案。
透明導(dǎo)電薄膜在現(xiàn)代光電行業(yè)中具有至關(guān)重要的地位,是觸摸屏、顯示器和太陽能電池等設(shè)備中的核心組件。ITO靶材憑借其出色的透明導(dǎo)電特性成為制備透明導(dǎo)電薄膜的材料。
銦回收的難點在于其“稀”與“散”。一部廢舊手機含銦量不足0.02克,且深嵌于多層結(jié)構(gòu)的液晶面板中,與玻璃、塑料、其他金屬緊密復(fù)合。傳統(tǒng)的物理拆解難以分離,濕法冶金(酸/堿浸出)則面臨成分復(fù)雜、雜質(zhì)干擾、易產(chǎn)生二次污染等嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。