從物理性質(zhì)上看，ITO靶材具有以下幾個(gè)顯著特點(diǎn)：
高透明度：在可見(jiàn)光范圍內(nèi)（波長(zhǎng)400-700納米），ITO薄膜的透光率可高達(dá)90%以上，幾乎與普通玻璃相當(dāng)。
優(yōu)異導(dǎo)電性：其電阻率通常在10??歐姆·厘米的量級(jí)，遠(yuǎn)低于大多數(shù)透明材料。
化學(xué)穩(wěn)定性：在常溫下，ITO對(duì)水、氧氣等環(huán)境因素表現(xiàn)出良好的抗腐蝕能力。
機(jī)械耐久性：ITO薄膜具備一定的硬度和耐磨性，能夠應(yīng)對(duì)日常使用中的輕微刮擦。
這些特性讓ITO靶材在實(shí)際應(yīng)用中游刃有余，尤其是在需要兼顧光學(xué)和電學(xué)性能的場(chǎng)景中。
ITO靶材的核心用途是在磁控濺射工藝中作為“濺射源”。磁控濺射是一種常見(jiàn)的薄膜沉積技術(shù)，通過(guò)高能離子轟擊靶材表面，使靶材原子被“敲擊”出來(lái)，終沉積在基板上，形成一層均勻的ITO薄膜。這層薄膜厚度通常在幾十到幾百納米之間，卻能同時(shí)實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電和透光的功能。
制備完成后，ITO靶材在實(shí)際應(yīng)用中還會(huì)遇到一些問(wèn)題：
濺射不均勻：如果靶材內(nèi)部存在微小缺陷或成分偏差，濺射過(guò)程中可能出現(xiàn)局部過(guò)熱，導(dǎo)致薄膜厚度不一致。
靶材破裂：在高功率濺射時(shí)，靶材承受的熱應(yīng)力可能超出其極限，造成破裂，進(jìn)而影響生產(chǎn)線的連續(xù)性。
資源限制：ITO靶材依賴銦這種稀有金屬，而銦的全球儲(chǔ)量有限，價(jià)格波動(dòng)較大。這不僅推高了成本，也促使業(yè)界尋找替代方案。
銦回收具有重要的環(huán)保和經(jīng)濟(jì)效益。通過(guò)回收廢舊靶材中的銦，可以減少對(duì)新資源的開(kāi)采，降低環(huán)境污染，實(shí)現(xiàn)資源的可持續(xù)利用。此外，回收銦還能穩(wěn)定市場(chǎng)供應(yīng)，降低生產(chǎn)成本，促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。
