制備完成后,ITO靶材在實(shí)際應(yīng)用中還會(huì)遇到一些問(wèn)題:
濺射不均勻:如果靶材內(nèi)部存在微小缺陷或成分偏差,濺射過(guò)程中可能出現(xiàn)局部過(guò)熱,導(dǎo)致薄膜厚度不一致。
靶材破裂:在高功率濺射時(shí),靶材承受的熱應(yīng)力可能超出其極限,造成破裂,進(jìn)而影響生產(chǎn)線的連續(xù)性。
資源限制:ITO靶材依賴銦這種稀有金屬,而銦的全球儲(chǔ)量有限,價(jià)格波動(dòng)較大。這不僅推高了成本,也促使業(yè)界尋找替代方案。
ITO靶材,即銦錫氧化物靶材,主要由氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)組成,其中氧化銦占比高達(dá)90%。ITO靶材因其優(yōu)異的導(dǎo)電性和高透光性,成為液晶顯示器(LCD)、觸摸屏及太陽(yáng)能電池等光電設(shè)備的理想材料。其晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,電導(dǎo)率高,確保了設(shè)備的運(yùn)行。
閉環(huán)之困:損耗與機(jī)遇并存
ITO靶材在濺射鍍膜過(guò)程中利用率通常僅30%左右,大量含銦廢料(廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料)隨之產(chǎn)生。過(guò)去,這些價(jià)值的廢料往往被簡(jiǎn)單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環(huán)體系,成為破解資源約束的黃金路徑。
在堆積如山的廢棄手機(jī)、平板電腦和液晶顯示器深處,隱藏著一種被稱為“電子時(shí)代血脈”的稀有金屬——銦。它雖在自然界中蹤跡難尋,卻在ITO靶材(氧化銦錫)中扮演著不可替代的角色,驅(qū)動(dòng)著全球億萬(wàn)塊液晶屏幕的清晰成像。隨著電子產(chǎn)品更新?lián)Q代加速,一條從“電子垃圾”到“戰(zhàn)略資源”的銦回收產(chǎn)業(yè)鏈正悄然崛起,成為保障產(chǎn)業(yè)與生態(tài)可持續(xù)的關(guān)鍵密碼。