在實(shí)際生產(chǎn)中，ITO靶材通常被加工成圓形或矩形的塊狀，與濺射設(shè)備配合使用。濺射過程中，靶材的質(zhì)量直接影響薄膜的均勻性、附著力和性能。因此，高質(zhì)量的ITO靶材不僅是技術(shù)要求，更是生產(chǎn)效率和產(chǎn)品可靠性的保障。
制備完成后，ITO靶材在實(shí)際應(yīng)用中還會(huì)遇到一些問題：
濺射不均勻：如果靶材內(nèi)部存在微小缺陷或成分偏差，濺射過程中可能出現(xiàn)局部過熱，導(dǎo)致薄膜厚度不一致。
靶材破裂：在高功率濺射時(shí)，靶材承受的熱應(yīng)力可能超出其極限，造成破裂，進(jìn)而影響生產(chǎn)線的連續(xù)性。
資源限制：ITO靶材依賴銦這種稀有金屬，而銦的全球儲(chǔ)量有限，價(jià)格波動(dòng)較大。這不僅推高了成本，也促使業(yè)界尋找替代方案。
區(qū)別對(duì)比
?成分差異：銦靶材為純金屬銦制成，而ITO靶材則是銦錫氧化物的復(fù)合物。
?用途不同：銦靶材主要用于需要高導(dǎo)電性和延展性的領(lǐng)域，如航空航天部件；ITO靶材則因其透明導(dǎo)電性廣泛應(yīng)用于光電顯示領(lǐng)域。
?性能特點(diǎn)：銦靶材更側(cè)重于導(dǎo)電性和機(jī)械強(qiáng)度，而ITO靶材則兼顧導(dǎo)電性和光學(xué)透明性。
ITO靶材的應(yīng)用主要集中在以下幾個(gè)領(lǐng)域：
顯示技術(shù)：ITO薄膜用于LCD、OLED等顯示器件中的透明電極，確保設(shè)備既能透光顯示圖像，又能導(dǎo)電傳輸信號(hào)。
觸控技術(shù)：電容式和電阻式觸摸屏使用ITO作為電極材料，其透明性和導(dǎo)電性決定了觸控設(shè)備的靈敏度和視覺效果。
光伏技術(shù)：ITO薄膜作為太陽能電池的前電極材料，具有高透明性，能夠保證光線有效進(jìn)入吸收層，從而提升光電轉(zhuǎn)換效率。
智能建筑與汽車應(yīng)用：智能窗、加熱膜等系統(tǒng)中也使用ITO薄膜，其良好的導(dǎo)電性和耐環(huán)境穩(wěn)定性使其在智能玻璃和汽車加熱玻璃等應(yīng)用中表現(xiàn)出色。
