冷等靜壓法
工藝流程：將混合粉末裝入柔性模具，在室溫下通過高壓（100-300兆帕）壓制成型，隨后在較低溫度下燒結(jié)固化。
優(yōu)點：工藝相對簡單，生產(chǎn)成本較低，適合小批量或定制化生產(chǎn)。
缺點：靶材密度和均勻性稍遜，可能在高功率濺射中表現(xiàn)不夠穩(wěn)定。
適用場景：中低端電子產(chǎn)品或?qū)嶒炇已邪l(fā)用靶材。
這兩種方法各有千秋，制造商需要根據(jù)具體需求權(quán)衡成本與性能。
銦靶材主要由金屬銦制成，具有質(zhì)軟、延展性好和導電性強的特點。作為稀有金屬，銦在自然界的含量稀少，但其獨特的物理和化學性質(zhì)使其成為眾多高科技產(chǎn)品的核心組件。銦靶材廣泛應(yīng)用于航空航天、電子工業(yè)等領(lǐng)域，是制造高性能電子元器件的關(guān)鍵材料。
氧化銦是一種寬禁帶半導體，具有良好的光學透明性，而氧化錫的引入則增強了材料的導電性。這種成分結(jié)構(gòu)使得ITO材料在保證高透光率的同時也具有低電阻率，兼具光學和電學性能。ITO靶材的這一獨特特性使其成為透明導電膜的主流材料，尤其適用于要求高透明度的光電設(shè)備和顯示技術(shù)。
ITO靶材的應(yīng)用主要集中在以下幾個領(lǐng)域：
顯示技術(shù)：ITO薄膜用于LCD、OLED等顯示器件中的透明電極，確保設(shè)備既能透光顯示圖像，又能導電傳輸信號。
觸控技術(shù)：電容式和電阻式觸摸屏使用ITO作為電極材料，其透明性和導電性決定了觸控設(shè)備的靈敏度和視覺效果。
光伏技術(shù)：ITO薄膜作為太陽能電池的前電極材料，具有高透明性，能夠保證光線有效進入吸收層，從而提升光電轉(zhuǎn)換效率。
智能建筑與汽車應(yīng)用：智能窗、加熱膜等系統(tǒng)中也使用ITO薄膜，其良好的導電性和耐環(huán)境穩(wěn)定性使其在智能玻璃和汽車加熱玻璃等應(yīng)用中表現(xiàn)出色。
