技術(shù)參數(shù)；
真空腔體
類型
高溫型室溫到400℃
高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-190℃
腔體材質(zhì)
6061鋁合金 （304不銹鋼可選）
腔體內(nèi)尺寸
127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸
150mmX80mmX32mm
腔體重量
不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸
Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口
KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測量口
KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口
公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體冷卻方式
腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
6mm快擰 或 6mm快插
腔體正壓
≤0.05MPa
腔體真空度
機(jī)械泵≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質(zhì)
不銹鋼
樣品臺尺寸
26x26mm
樣品臺加熱方式
電阻加熱
電阻加熱 液氮制冷
樣品臺-視窗 距離
11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺測溫傳感器
PT100型熱電阻
樣品臺溫度
室溫到400℃
室溫到400℃ 室溫到-190℃
樣品臺測溫誤差
±0.5℃
樣品臺升溫速率
高溫100℃/min 值 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示
7寸人機(jī)界面
溫控類型
標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率
0.1℃
溫控精度
±0.5℃
溫度信號輸入類型
PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出
直流線性電源加熱
直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能
溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸
32cmX170cmX380cm
溫控器重量
約5.6KG
可擴(kuò)展電學(xué)測試
探針
電信號接頭
配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
電學(xué)性能
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量
4探針（可擴(kuò)展5探針）
探針材質(zhì)
鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選）
探針尖
10μm
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺
X軸移動(dòng)行程
20mm±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺）
X軸控制精度
≥500μm
R軸移動(dòng)行程
120°±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度
≥500μm
Z軸移動(dòng)行程
2mm±1mm
Z軸控制精度
≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿）