矢量潔凈室：在房間的側上角送風，采用扇形過濾器，也可以用普通過濾器配扇形送風口，在另一側的下部設回風口，房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級（100級）潔凈度。

對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過濾器（潔凈級別低時）作為終端過濾器，對進入潔凈室的空氣，進行后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。

一般情況下，凈化空調系統(tǒng)的能耗比一般空調系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負荷特點不同。就潔凈室，尤其是半導體工業(yè)潔凈室而言，其負荷特點是：由于排風量大造成新風量大，故新風處理所需冷量消耗大；送風量大，輸送動力消耗大，風機管道溫升高；生產設備的發(fā)熱量大，消耗冷量大。這三項負荷之和一般占總負荷的70%~95%。因此，凈化空調系統(tǒng)節(jié)能措施應從減少新風量（減少排風量）；控制送風量（合理確定換氣次數）；充分利用回風量；選擇低阻力率的空調和凈化設備和可變風量的風機等入手。

在生產工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起，把潔凈度要求高的工序設置在上風側，把產生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆廢氣的工藝設備、容器盡可能放在潔凈區(qū)外，若必須放在潔凈區(qū)內時應盡量采取密閉措施以減少粉塵和廢氣的排放量。