濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產佳溫度范圍為35—45。

潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準，目的在于保障操作正常進行，滿足必要的談話聯(lián)系及良好的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是：

1．煩惱的效應由于噪聲，使人感到不安寧而產生煩惱情緒，一般分為安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和吵鬧7個煩惱等級。凡反應水平屬于很吵鬧和吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數在總人數中的百分比即為高煩惱率，層流罩。

2．對工作效率的影響這主要看三方面的反應水平，這三個方面是：集中精神動作準確性工作速度

3．對綜合通訊的干擾。

無塵室與擴散的效果類似，當過濾材料帶靜電時，粉塵在濾材中滯留的時間越長，被材料吸附的可能性就越大，改變風速，帶靜電材料的過濾效率會明顯改變，如果你材料上有靜電，進行空調系統(tǒng)設計時就應該盡可能地減少通過每只過濾器的風量。

對于以慣性機理為主的大顆粒粉塵，根據傳統(tǒng)理論，風速降低后，粉塵與纖維碰撞的幾率會減少，過濾效率會隨之降低，但在實踐中這種影響并不明顯，因為風速小了，纖維對粉塵的反彈力也小了，粉塵更容易被粘住。

無塵車間風管的組對、連接長度應根據現場的施工現場的情況和吊裝設備而進行確定。無塵車間風管連接采用的密封材料應滿足系統(tǒng)功能的技術條件。

例如，防、排煙系統(tǒng)或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無塵車間，應采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質的氣體，應采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。