潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

潔凈室中的防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質(zhì)量的一個不可忽視的方面。所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負無塵室與擴散的效果類似，當過濾材料帶靜電時，粉塵在濾材中滯留的時間越長，被材料吸附的可能性就越大，改變風速，帶靜電材料的過濾效率會明顯改變，如果你材料上有靜電，進行空調(diào)系統(tǒng)設計時就應該盡可能地減少通過每只過濾器的風量。

對于以慣性機理為主的大顆粒粉塵，根據(jù)傳統(tǒng)理論，風速降低后，粉塵與纖維碰撞的幾率會減少，過濾效率會隨之降低，但在實踐中這種影響并不明顯，因為風速小了，纖維對粉塵的反彈力也小了，粉塵更容易被粘住。

無塵車間風管穿過需要封閉的防火防爆樓板或墻體是采取的措施。應設鋼板厚度不小于1.6mm的預埋管或防護套管，無塵車間風管與防護套管之間應采用不燃柔性材料封堵。無塵車間風管穿越建筑物變形縫空間時，應設置柔性短管，無塵車間風管穿越建筑物變形縫墻體時，應設置鋼制套管，無塵車間風管與套管之間應采用柔性防水材料填充密實。